商品名称:GSL-1100X-8.5-S 8.5单温区CVD真空管式炉
      品牌:高科
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商品详情
GSL-1100X-8.5-S 是一款炉管外径为  8.5" 的真空管式炉 , 它可以在最大6“的基片上生长多种薄膜(在不同气氛下). 该炉的最高工作温度为 1100°C, 采用30段可编程PID数字温度控制器,温控精度: ±1°C。
 
 
技术参数  
炉体结构
  • 双层壳体,循环风冷.
  • 炉体表面温度< 70 ºC
  • 采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能
工作电压 AC 220V
功率 8KW
炉管规格
  • 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 40" 长
  •  标配内包含一只石英管, 多余的管子可单独订购

加热元件 NiCrAl 电阻丝
工作温度
  • 极限温度: 1100°C
  • 工作温度: 400 -1000°C
  • 升降温速率: 10°C/min(max)
加热区
  • 加热区总长:    600mm (24'')
  • 恒温区长度: 中心200mm (精度±1°C)
  • 在800℃时炉膛温度分布曲线 ( 点击下图查看)

               

控温仪
  • 采用30段可编程PID数字温度控制器
  • 设有一个额外的温度校准检测系统
  • 双K型热电偶测温.
  • 温控精度: ±1°C
  • 软件接口、模块和PC机不在标配内需额外订购

         可选: PC接口和软件

密封法兰和进气接口
  • 不锈钢真空密封法兰双硅胶密封圈密封真空度可达到  (机械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr).  真空泵不包含在内

     右端法兰上设有一个铠装热偶检测口和KF40真空接口.   ( 如需对炉膛温度进行校准请订购36" 长 x 1/4"dia  K 型热电偶)
    包括两个高纯氧化铝或石英管堵,设备使用时右端必须安装管堵阻止热的辐射,               
  •     Φ8"石英管堵
产品尺寸
  • 炉体:  1000L x 680W x 920 H  mm
净重 250Kg
保修期 整机保修一年,相关耗材除外。(如密封圈、炉管等)
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